Vorrichtung und Verfahren zur Chemischen Dampfphasenabscheidung

EP3093368 Art B1 10. November 2021

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3093368
Aktenzeichen: EP15735432
Anmeldetag: 9. Januar 2015
Veröffentlichung: 10. November 2021
Erteilung: 10. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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