Elektronenmikroskop und Messverfahren

EP3093868 Art B1 9. Mai 2018

Anmelder: JEOL LTD., The University of Tokyo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3093868
Aktenzeichen: EP16169636
Anmeldetag: 13. Mai 2016
Veröffentlichung: 9. Mai 2018
Erteilung: 9. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
The University of Tokyo
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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