Organoaminosilan-Vorläufer und Verfahren zum Ablagern von Filmen damit

EP3095788 Art B1 3. Juli 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3095788
Aktenzeichen: EP16174045
Anmeldetag: 22. September 2014
Veröffentlichung: 3. Juli 2019
Erteilung: 3. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/10C23C16/24H01L21/02C09D5/24C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von