Positionierungsverfahren in einem Mikroverarbeitungsverfahren für Bulk-Silicium

EP3098196 Art B1 27. März 2019

Anmelder: CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd., CSMC Technologies Fab1 Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3098196
Aktenzeichen
EP15860320
Anmeldetag
19. August 2015
Veröffentlichung
27. März 2019
Erteilung
27. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00B81C3/00G03F9/00H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd.
CSMC Technologies Fab1 Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 CSMC Technologies Fab2

CSMC Technologies Fab2 Co., Ltd. ist ein chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Wuxi, der als Foundry Leistungshalbleiter und analoge Bauelemente fertigt. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Elektronik, Optik und Mess- und Prüftechnik. Anmeldungen erfolgen seit 2010 bis in die Gegenwart.

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