Herstellungsverfahren eines Infrarot-Filters in Verbindung mit einem Bildsensor
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3098851
- Aktenzeichen
- EP16170357
- Anmeldetag
- 19. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 17. März 2021
- Erteilung
- 17. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/146
Abstract
L'invention concerne un capteur d'image ayant une partie comprenant des niveaux d'interconnexion formés sur un substrat semiconducteur (1) recouvert d'une première couche d'un matériau diélectrique, comprenant des pistes conductrices (15-1, 15-2, 15-3) séparées les unes des autres par des couches isolantes (6-1, 6-2, 6-3, 6-4), reliées entre elles par des vias (16-1, 16-2, 16-3) traversant les couches isolantes, et un filtre passe-bande dans l'infrarouge comprenant des niveaux de filtre adjacents aux niveaux d'interconnexion formés par une alternance de deuxièmes couches (6-1, 6-2, 6-3) du matériau diélectrique, et de couches de silicium (5-1, 5-2, 5-3), l'indice de réfraction du matériau diélectrique étant inférieur à 2,5 à la longueur d'onde de transmission maximale du filtre, l'une des deuxièmes couches diélectriques de chaque niveau de filtre étant identique à la couche isolante du niveau d'interconnexion adjacent.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Das Cabinet Beaumont wurde 1985 gegründet und ist im französischen Grenoble ansässig. Es setzt bewusst auf ein integriertes Team aus Ingenieuren und Juristen, die alle auf gewerblichen Rechtsschutz spezialisiert sind, für ein breites technisches Spektrum.
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Cabinet Beaumont
Cabinet Beaumont · Grenoble