Verfahren zur Analyse von Oberflächenmodifikationen einer Probe in eines Ladungsträger-Mikroskop

EP3104155 Art A1 14. Dezember 2016

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3104155
Aktenzeichen
EP15171227
Anmeldetag
9. Juni 2015
Veröffentlichung
14. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/28H01J37/26// H01J37/304H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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