Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen Desselben
EP3105770
Art B1
4. September 2019
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3105770
- Aktenzeichen
- EP15704009
- Anmeldetag
- 12. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 4. September 2019
- Erteilung
- 4. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01H57/00H01H59/00H01L41/09// F16K99/00H01H49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
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