Einrichtung und Verfahren zum Schutz einer Vakuum-Umgebung vor Leckage und Euv-Strahlungserzeugungsvorrichtung

EP3106005 Art B1 4. April 2018

Anmelder: TRUMPF Laser- und Systemtechnik GmbH, TRUMPF Laser-und Systemtechnik GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3106005
Aktenzeichen: EP14704340
Anmeldetag: 13. Februar 2014
Veröffentlichung: 4. April 2018
Erteilung: 4. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00G02B7/00H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TRUMPF Laser- und Systemtechnik GmbH
TRUMPF Laser-und Systemtechnik GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Trumpf Laser- und Systemtechnik

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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