Verbessertes Stitching durch Überlappungsdosis und Charakteristikareduzierung

EP3108300 Art A1 28. Dezember 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3108300
Aktenzeichen: EP15706415
Anmeldetag: 18. Februar 2015
Veröffentlichung: 28. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/78G03F7/20H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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