Bestückungsvorrichtung mit Automatischer Aufnahmehöhenanpassung und Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Automatischen Anpassung der Aufnahmehöhe einer Bestückungsvorrichtung

EP3108728 Art A1 28. Dezember 2016

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3108728
Aktenzeichen
EP15780691
Anmeldetag
17. April 2015
Veröffentlichung
28. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H05K13/04H05K13/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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