Bündelverteilungsoptik, Beleuchtungsoptik mit einer Derartigen Bündelverteilungsoptik, Optisches System mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Derartigen Optischen System

EP3111269 Art B1 11. August 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3111269
Aktenzeichen: EP15708760
Anmeldetag: 23. Februar 2015
Veröffentlichung: 11. August 2021
Erteilung: 11. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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