Verfahren zur Herstellung von Transistorvorrichtungen mit mehreren Nanodrahtkanälen

EP3112316 Art B1 2. Mai 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3112316
Aktenzeichen: EP15174968
Anmeldetag: 2. Juli 2015
Veröffentlichung: 2. Mai 2018
Erteilung: 2. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y10/00B82Y40/00H01L29/66H01L29/775H01L29/06H01L29/16H01L21/8238H01L21/3065H01L29/423H01L27/092

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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