Feststellung der Strömung eines Hilfsgases, das in eine Vakuumpumpe Gespeist Wird
EP3112687
Art B1
22. April 2020
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3112687
- Aktenzeichen
- EP15174408
- Anmeldetag
- 29. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 22. April 2020
- Erteilung
- 22. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/00F04D27/02F16K1/00G01P13/00G01F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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