Adaptiver Strahlstrom zur Substratstrukturierung mit Hohem Durchsatz
EP3113209
Art A1
4. Januar 2017
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3113209
- Aktenzeichen
- EP16177044
- Anmeldetag
- 30. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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