Metrologiesystem und Verfahren zum Kompensieren von Überlagerungsfehlern durch das Metrologiesystem
EP3114705
Art B1
23. November 2022
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3114705
- Aktenzeichen
- EP15758366
- Anmeldetag
- 5. März 2015
- Veröffentlichung
- 23. November 2022
- Erteilung
- 23. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01B9/02G03F7/20G06F30/398G06N20/00// G06F119/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin