Tischvorrichtung, Messvorrichtung, Werkzeugmaschine und Halbleiterherstellungsvorrichtung

EP3115148 Art A1 11. Januar 2017

Anmelder: NSK Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3115148
Aktenzeichen
EP15759068
Anmeldetag
2. März 2015
Veröffentlichung
11. Januar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B23Q1/01B23Q1/60B23Q1/66G12B5/00H01L21/027H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NSK Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NSK

Japanischer Hersteller von Wälzlagern und Präzisionsmaschinenkomponenten mit Sitz in Tokio, unter anderem für Automobil- und Industrieanwendungen.

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