Verfahren zur Herstellung einer Integrierten Schaltvorrichtung mit Verbesserten Mechanischen Eigenschaften

EP3116022 Art A3 8. März 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3116022
Aktenzeichen: EP16175260
Anmeldetag: 20. Juni 2016
Veröffentlichung: 8. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/532H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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