Verfahren zum Bestimmen einer Bondverbindung in einer Bauteilanordnung und Prüfvorrichtung

EP3117452 Art B1 6. Mai 2020

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Technische Universität Berlin 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3117452
Aktenzeichen
EP15717081
Anmeldetag
3. März 2015
Veröffentlichung
6. Mai 2020
Erteilung
6. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Technische Universität Berlin
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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