Inline-Waferkantenprüfung und Wafer-Vorausrichtung.
EP3117453
Art B1
17. August 2022
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3117453
- Aktenzeichen
- EP15809587
- Anmeldetag
- 19. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 17. August 2022
- Erteilung
- 17. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/027G01N21/95G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin