Laserwiederholungsfrequenzvervielfacher und Flache Strahlprofilgeneratoren mit Spiegeln Und/oder Prismen
EP3117495
Art B1
26. April 2023
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3117495
- Aktenzeichen
- EP15809376
- Anmeldetag
- 18. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 26. April 2023
- Erteilung
- 26. April 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin