Abbildungsvorrichtung, Abbildungssystem und Inkubator

EP3118303 Art A1 18. Januar 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3118303
Aktenzeichen
EP14885341
Anmeldetag
2. Dezember 2014
Veröffentlichung
18. Januar 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C12M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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