Abbildungsvorrichtung, Abbildungssystem und Inkubator
EP3118303
Art A1
18. Januar 2017
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3118303
- Aktenzeichen
- EP14885341
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2014
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C12M1/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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