System und Verfahren für die Bandbreitenreduzierung eines Lasers sowie Prüfsystem und Verfahren unter Verwendung eines Lasers
EP3120427
Art B1
23. September 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3120427
- Aktenzeichen
- EP15765616
- Anmeldetag
- 19. März 2015
- Veröffentlichung
- 23. September 2020
- Erteilung
- 23. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/10G01N21/39
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin