Verfahren zur Abscheidung von Gruppe-13-Metall- oder Metalloidnitridschichten

EP3121309 Art A1 25. Januar 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3121309
Aktenzeichen: EP16181088
Anmeldetag: 25. Juli 2016
Veröffentlichung: 25. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C23C16/34C23C16/455C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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