Mikrowellenplasmaapplikator mit Verbesserter Energiegleichförmigkeit
EP3123840
Art B1
25. Dezember 2019
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3123840
- Aktenzeichen
- EP15715899
- Anmeldetag
- 19. März 2015
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2019
- Erteilung
- 25. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hill, Justin John
London, Großbritannien
1.565
Patente gesamt
32
Fachgebiete
24
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
CMS Cameron McKenna Nabarro Olswang LLP
CMS Cameron McKenna Nabarro Olswang LLP · London