Fokusmessungen mit Scatterometrie

EP3126893 Art B1 3. September 2025

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3126893
Aktenzeichen
EP15774184
Anmeldetag
30. März 2015
Veröffentlichung
3. September 2025
Erteilung
3. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B15/14H04N7/18G03F7/20G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen