Verfahren zum Recycling von Substraten und Trägersubstraten

EP3127143 Art A1 8. Februar 2017

Anmelder: Nanyang Technological University 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3127143
Aktenzeichen: EP15773434
Anmeldetag: 16. Februar 2015
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/64H01L21/77H01L33/00H01L21/683H01L33/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nanyang Technological University
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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