Ferroelektrische Speichervorrichtung und Herstellungsverfahren dafür

EP3128534 Art B1 17. Februar 2021

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3128534
Aktenzeichen: EP16182899
Anmeldetag: 5. August 2016
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Erteilung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L21/02H01L29/51H01L29/66H01L29/78H01L29/24H01L29/778

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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