Verfahren zur Herstellung eines Übergangs-Feldeffekt-Transistors auf einem Halbleitersubstrat

EP3136426 Art B1 3. April 2019

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3136426
Aktenzeichen
EP15182155
Anmeldetag
24. August 2015
Veröffentlichung
3. April 2019
Erteilung
3. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/337H01L29/808H01L29/10// H01L21/265H01L29/861H01L21/329H01L21/761
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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