Kompakte Lichtquelle für Messtechnikanwendungen im Euv-Bereich
EP3136828
Art A1
1. März 2017
Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3136828
- Aktenzeichen
- EP15182848
- Anmeldetag
- 28. August 2015
- Veröffentlichung
- 1. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00H05H7/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Paul Scherrer Institut
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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