Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht mit Metallorganischem Gerüst Mithilfe von Dampfphasenvorläufern

EP3137647 Art B1 4. Dezember 2019

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3137647
Aktenzeichen: EP15720073
Anmeldetag: 29. April 2015
Veröffentlichung: 4. Dezember 2019
Erteilung: 4. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/455C23C28/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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