Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe

EP3139044 Art B1 22. April 2020

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3139044
Aktenzeichen
EP15183902
Anmeldetag
4. September 2015
Veröffentlichung
22. April 2020
Erteilung
22. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F04D17/16F04D19/04F04D29/66F16F15/32G01M1/34
Offizieller Volltext

Abstract

Ein Verfahren zum Wuchten eines Rotors (149) einer Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe, oder eines Rotors (149) einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe,wobei der Rotor (149) gegenüber einem Stator der Vakuumpumpe (111) oder der Rotationseinheit um eine Rotationsachse (151) drehbar gelagert ist, umfasst die Schritte: - Messen einer Unwucht des Rotors (149) bei sich um die Rotationsachse (151) drehendem Rotor (149), und - Beaufschlagen des Rotors (149) an wenigstens einer in Abhängigkeit von der gemessenen Unwucht errechneten Stelle (P1, P2, P3, P4, P5) mit einem Strahl (304), insbesondere Laser-, lonen- oder Elektronenstrahl, derart, dass mittels des Strahls (304) zur möglichst vollständigen Beseitigung oder zumindest zur Reduzierung der Unwucht Material von dem Rotor (149) abgetragen wird.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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