Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3139044
- Aktenzeichen
- EP15183902
- Anmeldetag
- 4. September 2015
- Veröffentlichung
- 22. April 2020
- Erteilung
- 22. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D17/16F04D19/04F04D29/66F16F15/32G01M1/34
Abstract
Ein Verfahren zum Wuchten eines Rotors (149) einer Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe, oder eines Rotors (149) einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe (111), insbesondere Turbopumpe, Turbomolekularpumpe oder Seitenkanalpumpe,wobei der Rotor (149) gegenüber einem Stator der Vakuumpumpe (111) oder der Rotationseinheit um eine Rotationsachse (151) drehbar gelagert ist, umfasst die Schritte: - Messen einer Unwucht des Rotors (149) bei sich um die Rotationsachse (151) drehendem Rotor (149), und - Beaufschlagen des Rotors (149) an wenigstens einer in Abhängigkeit von der gemessenen Unwucht errechneten Stelle (P1, P2, P3, P4, P5) mit einem Strahl (304), insbesondere Laser-, lonen- oder Elektronenstrahl, derart, dass mittels des Strahls (304) zur möglichst vollständigen Beseitigung oder zumindest zur Reduzierung der Unwucht Material von dem Rotor (149) abgetragen wird.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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