Texturierung von Monokristallinen Siliciumsubstraten

EP3139416 Art B1 28. Oktober 2020

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3139416
Aktenzeichen: EP15184061
Anmeldetag: 7. September 2015
Veröffentlichung: 28. Oktober 2020
Erteilung: 28. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/0236H01L31/18H01L21/02H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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