Gehäuse für eine Zielbearbeitungsmaschine
EP3140697
Art A1
15. März 2017
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3140697
- Aktenzeichen
- EP15728208
- Anmeldetag
- 1. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 15. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Peters, Sebastian Martinus
Den Haag, Niederlande
299
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven