Verfahren zum Belichten eines Wafers

EP3144955 Art A1 22. März 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Mapper Lithography IP B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3144955
Aktenzeichen: EP16190579
Anmeldetag: 19. Mai 2010
Veröffentlichung: 22. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Mapper Lithography IP B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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