Verfahren zur Bildung einer Konformen Beschichtung auf Dreidimensionalen Substraten

EP3146089 Art B1 3. April 2019

Anmelder: IMEC VZW, Universiteit Hasselt 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3146089
Aktenzeichen: EP15726889
Anmeldetag: 20. Mai 2015
Veröffentlichung: 3. April 2019
Erteilung: 3. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/12H01M4/04C23C18/04H01M4/139// H01M10/052H01M10/058

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Universiteit Hasselt
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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