Adaptiver Strahlstrom zur Substratstrukturierung mit Hohem Durchsatz
EP3151264
Art A1
5. April 2017
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3151264
- Aktenzeichen
- EP15188185
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 5. April 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/302
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
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