Verfahren zur Kompensation eines Belichtungsfehlers in einem Belichtungsverfahren
EP3152622
Art B1
6. Dezember 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3152622
- Aktenzeichen
- EP15720652
- Anmeldetag
- 24. April 2015
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2023
- Erteilung
- 6. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven