Verfahren zur Herstellung einer Säulenstruktur in einer Halbleiterschicht

EP3153463 Art B1 13. Juni 2018

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3153463
Aktenzeichen: EP15188985
Anmeldetag: 8. Oktober 2015
Veröffentlichung: 13. Juni 2018
Erteilung: 13. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/775H01L29/06H01L21/306H01L21/308B82Y10/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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