Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung

EP3153558 Art B1 21. März 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3153558
Aktenzeichen: EP16190495
Anmeldetag: 23. September 2016
Veröffentlichung: 21. März 2018
Erteilung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/321C09K3/14C09G1/04H01L21/3105H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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