Adaptive Steuerung zur Verarbeitung eines Geladenen Teilchenstrahls

EP3159910 Art A1 26. April 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3159910
Aktenzeichen
EP15190491
Anmeldetag
20. Oktober 2015
Veröffentlichung
26. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/302B28B1/00B33Y10/00C23C16/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

506 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
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