Vorrichtung und Verfahren zur Bereitstellung eines Gasförmigen Vorläufers an eine Reaktionskammer

EP3162914 Art A1 3. Mai 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3162914
Aktenzeichen: EP16193826
Anmeldetag: 13. Oktober 2016
Veröffentlichung: 3. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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