Verfahren und System zur Regionalen Phasenabwicklung mit Strukturunterstützter Korrektur
EP3163251
Art B1
14. November 2018
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3163251
- Aktenzeichen
- EP16191014
- Anmeldetag
- 28. September 2016
- Veröffentlichung
- 14. November 2018
- Erteilung
- 14. November 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin