Pzt-Dünnschichtlaminat und Verfahren zur Herstellung eines Pzt-Dünnschichtlaminats
EP3163641
Art A1
3. Mai 2017
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3163641
- Aktenzeichen
- EP15811571
- Anmeldetag
- 11. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L41/319C23C14/08C23C14/34H01L41/047H01L41/29H01L41/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
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Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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