Verfahren für Fehlererkennung in Werkstücken

EP3164723 Art B1 28. Februar 2024

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3164723
Aktenzeichen
EP15865251
Anmeldetag
4. Dezember 2015
Veröffentlichung
28. Februar 2024
Erteilung
28. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/88G01N21/95G01R31/01G01R31/26G01R31/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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