Ladungsträgerteilchenstrahlsystem

EP3166126 Art B1 19. September 2018

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3166126
Aktenzeichen: EP16196946
Anmeldetag: 2. November 2016
Veröffentlichung: 19. September 2018
Erteilung: 19. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/244H01J37/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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