System und Verfahren zur Optimierung von durch Geformte Öffnungen Hergestellten Geladenen Teilchenstrahlen
EP3166127
Art B1
27. März 2019
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3166127
- Aktenzeichen
- EP16196521
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 27. März 2019
- Erteilung
- 27. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Bakker, Hendrik
NoneEindhoven