Verfahren zur Detektion von Teilchenstrahlung

EP3168651 Art B1 12. Februar 2020

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3168651
Aktenzeichen
EP16198005
Anmeldetag
9. November 2016
Veröffentlichung
12. Februar 2020
Erteilung
12. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01T1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
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