Filteranordnung zur Trennung von Sekundär- und Rückstreuelektronen in einem Nicht-Transmissiven Ladungsträgerteilchenmikroskop

EP3174085 Art A1 31. Mai 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3174085
Aktenzeichen
EP15196917
Anmeldetag
30. November 2015
Veröffentlichung
31. Mai 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/05H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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