Dünnschichtvorrichtungherstellungsverfahren und -Einrichtung

EP3175013 Art A1 7. Juni 2017

Anmelder: Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3175013
Aktenzeichen: EP15747451
Anmeldetag: 31. Juli 2015
Veröffentlichung: 7. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/54C23C14/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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