Verfahren und Vorrichtung zur Heissstrahlbehandlung

EP3175476 Art A1 7. Juni 2017

Anmelder: Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3175476
Aktenzeichen: EP15745481
Anmeldetag: 31. Juli 2015
Veröffentlichung: 7. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C14/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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